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半導体製造現場の安全を守るコスモス式ガス検知部「PS-8」を発売しました

~世界最高水準の技術力を誇るガスセンサメーカーが開発。コスモス式ガス検知部がリニューアルして新登場~

「世界中のガス事故をなくす」を大目標に掲げるガス警報器・検知器メーカーの新コスモス電機株式会社(本社:大阪市淀川区、代表取締役社長:髙橋良典)は、半導体⼯場向けガス検知警報装置 コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」を2024年7月31日(水)に発売しました。

開発の経緯

半導体製造工場では製造工程において、人体に危険な特性を持つ多種多様なガスを扱っており多数のガス検知警報装置の設置が必要となります。また、一般高圧ガス保安規則関係例示基準では、「特殊高圧ガスに係るガス漏えい検知警報設備の指示値の校正は、6ヶ月に1回以上行うこと。」と定められています。

新コスモス電機では、半導体工場向けガス検知部として1997年に「PS-6」、2003年に前身機種である「PS-7」を開発しました。この製品シリーズは、校正済みのセンサユニットを交換するだけで現場でのガス校正が不要で、メンテナンスの手間やランニングコストを低減できる「コスモス式」を業界に先駆けて採用しました。その特徴が好評で、国内だけにとどまらず海外の半導体工場でも多くのお客様にご使用いただいております。

そのような中、従来の特徴を活かしながら、お客様のニーズに合わせてカスタマイズできる次世代のガス検知部開発に取り組んで参りました。

この度発売した「PS-8」は、メインユニットにサブユニットや拡張ユニットを追加することで、お客様が必要なガス種を必要な分だけ増設できるなど、お客様のニーズに応じたフレキシブルな監視が可能となりました。また、長年培ったガスセンサ技術を活かし、ガス検知部のコアとなるガスセンサの性能向上を実現しました。さらに大型液晶で視認性を高めるなど、ユーザビリティがアップしました。

液晶画面がついたメインユニットを中心に様々なシステム構成が可能

PS-8シリーズの特長
1.熱線型半導体式 水素化物センサ*で長寿命化


コスモス式のセンサユニット

  • 世界初!当社独自の熱線型半導体式センサでSiH₄(シラン)を高感度検知
  • センサの長寿命化によりガスセンサユニットの交換周期が延び、ランニングコストを削減

    従来は水素化物の検知に電気化学式センサを使用しており、センサ寿命は1年程度でした。

    水素検知の実績を多く持つ当社独自の熱線型半導体式センサで、世界で初めて水素化物の検知が可能となり、これによりセンサの長寿命化(最長5年間)を実現しました。

    *近日発売

 

2.視認性抜群の大型液晶で現場を一目で把握



 

Point 1 トレンドグラフ

ガス漏れ発生時に50分前までのガス漏れの履歴を確認可能

 

Point 2 履歴などを表示

機器本体でガス警報だけでなく、メンテナンスモードを設定したタイミングなどの履歴や現在発生しているイベントを表示可能

 

3.PoE対応で省配線、PLCとはシームレスに簡単接続

 

  • LANケーブル1本で機器の電源供給からデータ通信まで行うことが可能
  • PLC(上位システム)との間に必要だった変換器などは不要

 

◎商品の詳細情報はこちら>> コスモス式ガス検知部 PS-8シリーズ