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半導体工場向コスモス式ガス検知部「PS-7」を開発しました

新コスモス電機株式会社(JASDAQ上場:証券コード6824、住所:大阪市淀川区三津屋中2-5-4、TEL:06-6308-3111、社長:重盛徹志、資本金:14億6,000万円)は、小型・軽量化と高機能化を実現したコスモス式ガス検知部「PS-7」を開発しました。

<開発の経緯>
半導体工場では、コンビナート、化学工場などで使われる爆発性のガスに加え、シラン、アルシン等の毒性ガスが使われています。これらの毒性ガスは万が一漏洩した場合、危険性が高いものが多く、ガス検知警報器が必要とされています。
ガス検知警報器は6ヶ月に1回のガス校正が義務付けられており、クリーンルームの中にメンテナンス人員が入ることによる清浄雰囲気への悪影響や、ランニングコスト面などが課題となっていました。
当社では、独自のセンサ技術を生かし、従来から半導体工場向けガス検知警報装置用のコスモス式ガス検知部として「現場でのガス校正不要によるランニングコストの低減」を提案し、提供してきました。

この度開発した「コスモス式ガス検知部 PS-7」は、従来のコスモス式ガス検知部が持つ「現場でのガス校正不要によるランニングコストの低減」の考え方を踏襲。体積・重量とも約1/2という小型化・軽量化と、LCD表示部を搭載してガス濃度や警報状態が一目でわかるようにするなどの高機能化を実現。価格面では従来品と同等としています。 なお、発売開始は来春を予定しています。
*注1 コスモス式・・・設置現場でのガス校正を不要とし、センサユニットをリサイクルすることにより、廃棄物の減少とランニングコストを極力低減するコンセプトで開発されたガス検知警報装置のことです。

<特長>
1.体積・重量とも従来製品より約1/2の小型化・軽量化を実現しました。
2.LCD表示部でガス濃度・警報状態等が一目でわかります。
3.サンプリング流量の自動制御機能をもたせました。(特許出願中)
4.設定と異なるガス種のセンサユニットが挿入された場合、異常をお知らせするセンサユニット誤挿入防止機能つき
5.センサユニットとサンプリングユニットの交換が工具無しで簡単に行えます。
6.オプションとの組み合わせで、NF3などの熱分解が必要なガスの検知や双方向通信によるPLCへの接続を可能にします。