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半導体材料ガス検知器「XPS-7」を開発しました。

新コスモス電機株式会社(JASDAQ上場:証券コード6824、住所:大阪市淀川区三津屋中2-5-4、TEL:06-6308-3111、社長:重盛徹志、資本金:14億6,000万円)は、カセット式ガスセンサ(以下、センサユニット)を交換することで、様々なガスの検知が可能となったポータブル型半導体材料ガス検知器「XPS-7」を開発しました。6月21日より発売をいたします。

<開発の経緯>
半導体工場では、低濃度で人体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料ガスとして使われています。そのため、これらの毒性ガスが万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセンサを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とされています。
当社では、独自のセンサ技術を生かし、従来から半導体材料ガス検知器を開発・販売し、多くのお客さまにお使いいただいてきました。そのような中、お客さまは工場で使用される数十種類のガスを監視するために、複数のガス検知器を用意する必要があり、導入のためのイニシャルコストやメンテナンスコスト・時間での負担が大きくなっていました。

この度開発したポータブル型半導体材料ガス検知器「XPS-7」は、あらかじめ感度調整をしたセンサユニットを必要なガスの種類分用意することで、1台で様々なガスの検知が可能となりました。それにより、メンテナンス時間やコストが大幅に削減できます。また、大きさ・重さも従来比約1/2という軽量・小型化を実現。持ち運びがより便利になりました。使用済みのセンサユニットは当社に返却いただき、リユースいたしますので、産業廃棄物も削減できる環境に配慮した機器となっています。

<特長>
1.センサユニットを交換するだけで、様々なガスの検知が可能です。これによりメンテナンス時間やコストを大幅に削減できます。
2.センサユニットは感度調整済みでお客さまにお届けしますので、交換するだけですぐに使用できます。
3.体積・重量とも従来製品の約1/2。軽量化を実現し、より一層持ち運びが便利になりました。
4.警報音がガス濃度に合わせて変化。ガス濃度が低いと断続音、高くなると断続音の間隔が短くなり、連続音に変化します。
5.乾電池・AC電源どちらも使用できます。
6.センサユニットは返却いただきリユースする、環境に配慮した機器です。