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半導体材料ガス検知器 XPS-7
生産終了
後継機種 XPS-7II
センサがユニット式で交換が簡単
センサがユニット式で交換が簡単
特長
- センサユニット交換方式のポータブル型半導体材料ガス検知器
- センサユニットはお手元で交換可能で、様々なガス種を1台で検知可能
- ガス検知器の校正が不要で、メンテナンスの時間とコストを削減
- 警報音は、ガス濃度変化に応じてゆっくりとした断続音が徐々に早くなり、高濃度になると連続音でお知らせ
用途
半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知に
◆ポータブルタイプの半導体材料ガス探知器は
◆定置型の半導体材料ガス検知部は
仕様
| 対象ガス | 半導体材料ガス |
|---|---|
| 検知原理 | 定電位電解式 |
| ガス採取方式 | 自動吸引式 |
| 検知範囲 | 仕様による |
| 警報 | 【警報設定値】 仕様による 【警報方式】 ブザー鳴動、警報ランプ（赤色）点滅およびLCD 点滅表示 |
| 応答時間 | 60秒以内（60％応答） |
| 寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
| 質量 | 約1.3kg |
| 使用温度範囲 | 0℃～+40℃ |
| 連続使用時間 | 12時間以上（NF3センサユニット使用時は8時間以上） ※アルカリ乾電池使用、20℃、無警報時。環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なります |
