定置型
コスモス式ガス検知部 PS-7
表示画面（警報時）
センサがユニット式で交換が簡単
コンバーターユニット装着時
特長
- センサユニット交換方式の定置型半導体材料ガス検知部
- 校正済みのセンサユニットをお届けしお手元で交換が可能なので、現場でのガス校正が不要
- NF3検知に対応
- Modbus(RS-485/Ethernet)に対応（PS-7-M） ※Ethernet通信はPoEに対応
- CE規格、SEMI規格適合
用途
半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知に
◆ポータブルタイプ（センサユニット交換方式）の半導体材料ガス検知部は XPS-7II
◆ポータブルタイプの半導体材料ガス探知器は XP-703DIII
◆信号配線を無線化する無線変換器は WC-7L
仕様
| 対象ガス | 半導体材料ガス、水素、酸素 |
|---|---|
| 検知原理 | 半導体材料ガス：定電位電解式 水素：熱線型半導体式 酸素：ガルバニ電池式 |
| ガス採取方式 | 自動吸引式 |
| 検知範囲 | 仕様による |
| 警報 | 【警報設定値】 仕様による 【警報方式】 赤LEDランプ点滅 液晶画面 1段目：ALARM1 2段目：ALARM1、ALARM2表示 |
| 寸法 | W62×H124×D143mm（オプションと突起部を除く） |
| 質量 | 約1.0kg |
| 使用温湿度範囲 | 0℃～40℃（但し、急激な変化のないこと）、30～85％RH（但し、結露なきこと） |
| 使用電源 | DC24V±10％ |
| 消費電力 | 約7W |
| 外部出力 | ・ガス濃度アナログ出力 DC4－20mA（電源のマイナスと共通） ・ガス警報接点（1段及び2段） 1a無電圧接点/自動復帰 ・トラブル警報接点 （オープンコレクタ/自動復帰） |
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関連製品
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