定置型

コスモス式ガス検知部 PS-7

表示画面(警報時)

センサがユニット式で交換が簡単

コンバーターユニット装着時

特長

  • センサユニット交換方式の定置型半導体材料ガス検知部
  • 校正済みのセンサユニットをお届けしお手元で交換が可能なので、現場でのガス校正が不要
  • NF3検知に対応
  • Modbus(RS-485/Ethernet)に対応(PS-7-M) ※Ethernet通信はPoEに対応
  • CE規格、SEMI規格適合

 

用途

半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知に

◆ポータブルタイプ(センサユニット交換方式)の半導体材料ガス検知部は XPS-7II

◆ポータブルタイプの半導体材料ガス探知器は XP-703DIII

◆信号配線を無線化する無線変換器は WC-7L

仕様

対象ガス 半導体材料ガス、水素、酸素
検知原理 半導体材料ガス:定電位電解式
水素:熱線型半導体式
酸素:ガルバニ電池式
ガス採取方式 自動吸引式
検知範囲 仕様による
警報 【警報設定値】
仕様による
【警報方式】
赤LEDランプ点滅
液晶画面 1段目:ALARM1 2段目:ALARM1、ALARM2表示
寸法 W62×H124×D143mm(オプションと突起部を除く)
質量 約1.0kg
使用温湿度範囲 0℃~40℃(但し、急激な変化のないこと)、30~85%RH(但し、結露なきこと)
使用電源 DC24V±10%
消費電力 約7W
外部出力 ・ガス濃度アナログ出力 DC4-20mA(電源のマイナスと共通)
・ガス警報接点(1段及び2段) 1a無電圧接点/自動復帰
・トラブル警報接点 (オープンコレクタ/自動復帰)

 

ダウンロード

関連製品

その他・リンク

DeviceNet EDSファイルダウンロード
○アドレス設定スイッチがロータリータイプの商品をお使いの方はこちら
○アドレス設定スイッチがDIPタイプの商品をお使いの方はこちら